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     主要零件材料

     閥體、閥蓋、閥桿:鋁合金、碳鋼或不銹鋼
     密封件:丁腈橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。

主要性能指標

適用范圍:
      1×10-6Pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
      1×10-5Pa~1.2×105Pa(氟膠圈密封)
打開時閥板上的壓差:
      ≤1.2×105 Pa任意方向
      閥體和閥座漏率:≤1.3×10-7Pa·L·s-1
      建議首次維修前循環次數: 200,000次
      閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置
      -手動驅動:任意-氣動驅動:任意
      -電磁驅動:任意(波紋管密封);密封面朝向真空(氟膠圈密封)
電源
      -氣動驅動:交流220V 50Hz,6W或直流24V,3W(特殊規格可定做)
      -電磁驅動:交流220V或230V 50Hz,起動功率800W、保持功率8W
壓縮空氣(只適用于氣動):0.4~0.7MPa
閥門開啟和關閉時間

       -氣動驅動:≤1s
       -電磁驅動:開啟≤0.1s;
關閉≤1s(氟膠圈密封)、關閉≤0.5s(波紋管密封)
閥門位置指示
       -手動驅動:帶有啟閉位置指示
       -氣動驅動:帶有啟閉位置指示開關(磁性開關)
       -電磁驅動:帶有開啟位置指示燈

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