，螺(luo)桿式(shi)干式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)的工(gong)(gong)作過程(cheng)可分(fen)為吸氣、壓(ya)縮和排氣三個過程(cheng)。隨著轉子的旋轉，每對相互(hu)嚙合的齒相繼(ji)完成相同的工(gong)(gong)作循環，現在(zai)以其中一(yi)對齒來說明。

陽(yang)轉(zhuan)子按逆時針(zhen)方(fang)(fang)向旋(xuan)轉(zhuan)，陰螺桿(gan)按順時針(zhen)方(fang)(fang)向旋(xuan)轉(zhuan)。圖中上方(fang)(fang)的轉(zhuan)子端面是(shi)吸氣斷面，下方(fang)(fang)的端面為排氣端面。

轉于端(duan)面是排氣(qi)端(duan)面。在(zai)這里，陽轉子(zi)沿順時針(zhen)方(fang)向(xiang)旋轉，陰(yin)轉于沿逆時針(zhen)方(fang)向(xiang)旋轉。圖中上(shang)方(fang)的轉子(zi)端(duan)面是吸氣(qi)斷面，下方(fang)的端(duan)面為排氣(qi)端(duan)面。

螺桿泵的排氣(qi)過程，齒間(jian)容(rong)積與排氣(qi)孔(kong)口(kou)連通(tong)后，即開始排氣(qi)過程。隨著齒間(jian)容(rong)積的不(bu)斷縮小，具有排氣(qi)壓力的氣(qi)體逐漸通(tong)過排氣(qi)孔(kong)口(kou)被排出，